干式真空泵的应用范围

点击次数:   更新时间:20/12/01 13:25:12     来源:www.hygfbw.com
  要想更好的掌握操作干式真空泵,那么就要对该真空泵设备有着更多面的了解,这样才能帮助自己更好的使用设备。所以下面小编就来给大家讲讲该真空泵设备的应用范围有哪些。
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,则用一定型式的干式真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等;
  5、将干式真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  所以干式真空泵的应用范围还是非常广泛的,但在不同行业当中使用该真空泵设备时的注意事项也是不太一样,从而在操作使用的时候需要根据实际的工况来对设备进行调试、操作。
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